特殊ガスとは、特定の純度、組成、または性能要件を備え、特定の分野に適用される、純ガス、高純度ガス、高純度ベースガスの二成分混合物または多成分混合物を指します。{0}{1}{1}{2}{2}
定義: 特殊ガスには、純度、不純物含有量、安定性、その他の指標に関して厳しい要件があります。これらは通常、精密製造や科学研究のニーズを満たすために、特殊なプロセス (極低温蒸留、吸着、膜分離など) を通じて調製されます。
分類: 電子ガス: 半導体、ディスプレイ パネル、その他のエレクトロニクス産業で使用されます。シラン、高純度アンモニア、六フッ化硫黄など、非常に高い純度と粒子サイズが必要です。{0}}
高純度ガス: 高純度 99.999% 以上のガス。たとえば、高純度水素や高純度ヘリウムなど。研究室分析、レーザー技術、その他の分野で使用されます。{2}
標準ガス: 一酸化炭素と二酸化硫黄を含む標準混合物など、機器の校正または環境モニタリングに使用される、特定の割合で混合されたガス。